Trong thế giới khoa học hiện đại, có những công ty không chỉ tạo ra sản phẩm mà còn góp phần định hình cả một lĩnh vực khoa học. Park Systems là một trong những câu chuyện như vậy.
Khởi nguồn từ sự ra đời của kính hiển vi lực nguyên tử (AFM)
Lịch sử của Park Systems gắn liền với lịch sử của công nghệ Atomic Force Microscopy (AFM) – một trong những phát minh quan trọng nhất của khoa học nano thế kỷ XX.
Người sáng lập công ty, Sang-il Park, từng là nghiên cứu sinh tiến sĩ tại Stanford University dưới sự hướng dẫn của Calvin Quate. Trong giai đoạn năm 1985–1986, ông là một thành viên quan trọng của nhóm nghiên cứu đã phát triển thành công công nghệ AFM đầu tiên trên thế giới. Sau khi tốt nghiệp, ông thành lập Park Scientific Instruments (PSI) tại Thung lũng Silicon vào năm 1988, trở thành một trong những công ty tiên phong thương mại hóa AFM trên toàn cầu.
Năm 1997, sau khi PSI được mua lại, Tiến sĩ Sang-il Park trở về Hàn Quốc và thành lập Park Systems với một tầm nhìn đầy tham vọng: xây dựng thế hệ AFM tiếp theo có độ chính xác cao nhất thế giới.
Triết lý phát triển: Độ chính xác là nền tảng của đổi mới
Khác với nhiều công ty công nghệ chạy theo số lượng sản phẩm, Park Systems theo đuổi một triết lý rất rõ ràng:
“Precision drives innovation” – Độ chính xác tạo nên đổi mới.
Ngay từ những ngày đầu, công ty tập trung giải quyết các hạn chế cốt lõi của AFM truyền thống:
- Loại bỏ hiện tượng méo ảnh (bowing artifacts)
- Giảm nhiễu chéo (cross-talk)
- Phát triển công nghệ True Non-Contact™ AFM
- Nâng cao độ chính xác đo lường ở cấp độ nanomet và nguyên tử
- Tự động hóa hoàn toàn cho sản xuất công nghiệp
Triết lý này đã giúp Park Systems không chỉ phục vụ nghiên cứu cơ bản mà còn đưa AFM bước vào môi trường sản xuất công nghiệp với yêu cầu khắt khe nhất.
AFM – Trụ cột công nghệ làm nên Park Systems
AFM không đơn thuần là một kính hiển vi.
Đó là một nền tảng công nghệ cho phép con người:
- Quan sát cấu trúc bề mặt ở cấp độ nguyên tử
- Đo độ nhám với độ chính xác dưới nanomet
- Đo lực tương tác giữa các phân tử
- Theo dõi động học sinh học theo thời gian thực
- Phân tích tính chất cơ học, điện, từ và hóa học của vật liệu
Nhờ độ phân giải không gian cực cao và khả năng hoạt động trong môi trường không khí, chất lỏng hoặc chân không, AFM đã trở thành một trong những công cụ quan trọng nhất của khoa học nano hiện đại.
Từ khoa học sự sống đến công nghiệp bán dẫn
Một trong những điểm đặc biệt của Park Systems là khả năng mở rộng ứng dụng AFM sang gần như mọi lĩnh vực nghiên cứu và sản xuất.
Khoa học sự sống
AFM được sử dụng để:
- Quan sát protein đơn phân tử
- Nghiên cứu DNA, RNA
- Theo dõi động học enzyme
- Khảo sát màng tế bào
- Nghiên cứu tương tác thuốc – thụ thể
- Phát triển công nghệ High-Speed AFM
Ngày nay, AFM đã trở thành công cụ không thể thiếu trong nhiều nghiên cứu về sinh học cấu trúc và y sinh học.
Khoa học vật liệu
AFM giúp nghiên cứu:
- Vật liệu nano
- Graphene
- Vật liệu 2D
- Polymer
- Pin và vật liệu năng lượng
- MEMS/NEMS
- Vật liệu từ tính và quang học
Các nhà khoa học có thể đồng thời quan sát hình thái bề mặt và đo các tính chất vật lý như đặc tinh cơ học, điện va từ tính tại cùng một vị trí với độ phân giải nanomet.
Công nghiệp bán dẫn
Đây chính là lĩnh vực giúp Park Systems trở thành nhà lãnh đạo toàn cầu.
AFM của Park Systems hiện được sử dụng rộng rãi trong:
- Kiểm tra wafer silicon
- Đo CD (Critical Dimension)
- Kiểm soát độ nhám bề mặt
- Đánh giá cấu trúc FinFET và GAA
- Advanced Packaging
- HBM
- Chip AI thế hệ mới
Thông qua hợp tác chiến lược với imec, Park Systems đã phát triển các hệ thống AFM tự động tích hợp trực tiếp vào dây chuyền sản xuất bán dẫn và triển khai hàng trăm hệ thống tại các nhà máy sản xuất chip hàng đầu thế giới.
Vượt ra ngoài AFM: Xây dựng hệ sinh thái Nanometrology toàn diện
Tầm nhìn của Park Systems không dừng lại ở AFM.
Thông qua các thương vụ mua lại chiến lược:
- Accurion GmbH (2022)
- Lyncée Tec SA (2025)
Park Systems đã mở rộng thành công sang nhiều nền tảng đo lường nano tiên tiến khác.
Danh mục công nghệ hiện nay bao gồm:
AFM (Atomic Force Microscopy)
Tiêu chuẩn vàng cho đo lường nano.
AFM-IR
Kết hợp AFM với phổ hồng ngoại để xác định thành phần hóa học ở độ phân giải nano.
ISE (Imaging Spectroscopic Ellipsometry)
Đo đặc tính màng mỏng và lớp phủ quang học trên diện tích lớn.
WLI (White Light Interferometry)
Đo địa hình bề mặt 3D tốc độ cao.
DHM (Digital Holographic Microscopy)
Quan sát 3D không tiếp xúc theo thời gian thực cho khoa học sự sống và vật liệu.
AVI (Active Vibration Isolation)
Công nghệ chống rung chủ động cho các phép đo siêu chính xác.
Tương lai của Park Systems: Từ AFM đến nền tảng đo lường của kỷ nguyên AI và Nano
Ngày nay, Park Systems đã trở thành công ty AFM số 1 thế giới, hiện diện tại hơn 70 quốc gia với mạng lưới văn phòng toàn cầu và hàng trăm nhà khoa học, kỹ sư R&D. Công ty tiếp tục duy trì tốc độ tăng trưởng ấn tượng nhờ sự kết hợp giữa nghiên cứu nền tảng, đổi mới công nghệ và nhu cầu ngày càng tăng của các ngành công nghiệp bán dẫn, vật liệu tiên tiến, năng lượng và khoa học sự sống.
Từ một phòng thí nghiệm tại Stanford đến vị trí dẫn đầu thế giới về nanometrology, câu chuyện của Park Systems là minh chứng cho sức mạnh của khoa học cơ bản khi được kết hợp với tầm nhìn dài hạn, tinh thần đổi mới và khát vọng thương mại hóa công nghệ phục vụ nhân loại.
AFM không chỉ là một công cụ quan sát vật chất ở cấp độ nguyên tử.
Với Park Systems, AFM đã trở thành nền tảng giúp con người hiểu sâu hơn về sự sống, vật liệu và những công nghệ sẽ định hình thế giới trong nhiều thập kỷ tới.
Nguồn tham khảo: https://www.parksystems.com/en/company
